在精细镜面火花机闭环与半闭环伺服系统中，是用反应信号和指令信号的比拟结果来停止速度和位置控制的。因而，为了进步精细镜面火花机的加工精度，必需进步检测元件和检测系统的精度。由于设备品种、工作条件和检测请求不同，因此运用的检测元件和检测方式也有很多种。下面我们简单的说说精细镜面火花机的几种检测方式以及有哪些检测元件。

       检查办法：

　　1、数字式和模仿式：数字式是将被丈量停止单位量化后以数字的方式表示，其特性是被丈量经量化后转换成了脉冲个数，便于数据处置。检测精度取决于丈量单位，检测安装比拟简单，脉冲信号抗干扰才能强。模仿式是将被丈量用连续的变量来表示，其特性是被丈量用连续的变量值来表示，可直接丈量被丈量，无须量化，在小量程内能够完成高精度丈量。

　　2、增量式和式：增量式检测只测位移的增量，每挪动一个丈量单位就发一个丈量信号，其特性是构造简单。任何一个对中点都能够作为丈量的起点，但是，在运动过程中，一旦发作不测中缀，则不能再找到中缀前的位置，只能重新开端。式检测则无此缺陷，任何位置都由一固定值与之对应，但构造复杂。

　　在精细镜面火花机上常用的滑动导轨有液体静压导轨、气体静压导轨和贴塑导轨。

　　1、液体静压导轨：在两导轨工作面间通入具有一定压力的光滑油，构成静压油膜，使导轨工作面间处于纯液态摩擦状态，摩擦系数极低，多用于进给运动导轨。

　　2、贴塑导轨：在动导轨的摩擦外表上贴上一层由塑料等其它化学资料组成的塑料薄膜软带，其优点是导轨面的摩擦系数低，且动静摩擦系数接近，不易产生匍匐现象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振动才能，可减小振动和噪声；耐磨性、化学稳定性、可加工性能好；工艺简单、本钱低。

       3、气体静压导轨：在两导轨工作面间通入具有恒定压力的气体，使两导轨面构成平均别离，以得到高精度的运动。这种导轨摩擦系数小，不易惹起发热变形，但会随空气压力动摇而使空气膜发作变化，且承载才能小，故常用于负荷不大的场所。